Наименование показателя | объемная доля, % | |
---|---|---|
Гелий (He) | не менее | 99,999 |
Кислород+Аргон (O2+Ar) | не более | 0,0001 |
Азот (N2) | не более | 0,0002 |
Водород (H2) | не более | 0,00002 |
СО2+СО | не более | 0,0001 |
Метан | не более | 0,00005 |
Неон (Ne) | не более | 0,0005 |
Водяные пары | не более | 0,0005 |