| Наименование показателя | объемная доля, % | |
|---|---|---|
| Гелий (He) | не менее | 99,999 |
| Кислород+Аргон (O2+Ar) | не более | 0,0001 |
| Азот (N2) | не более | 0,0002 |
| Водород (H2) | не более | 0,00002 |
| СО2+СО | не более | 0,0001 |
| Метан | не более | 0,00005 |
| Неон (Ne) | не более | 0,0005 |
| Водяные пары | не более | 0,0005 |